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Dumont銅網(wǎng)鑷子的使用**事項(xiàng)
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,技術(shù)的不斷改良,芯片尺寸的不斷縮減,材料生長日趨多元化、立體化、微型化,各種類型的異質(zhì)材料中存在的界面、應(yīng)變態(tài)、應(yīng)變弛豫及隨后的晶格失配位錯的形成等,為TEM的使用提供了廣闊的發(fā)展空間。TEM的原理是電子束穿透樣品,并激發(fā)出透射電子,經(jīng)過聚焦與放大,采用探測器收集信號并成像。由于電子易散射和被物體吸收,所以必須制備超薄切片。現(xiàn)今,半導(dǎo)體行業(yè)中大部分采用聚焦離子束制備樣品,然后在專用的光學(xué)顯微鏡下,采用帶靜電的玻璃針,將樣品取出并放在碳膜銅網(wǎng)上。碳膜銅網(wǎng)很薄,且直徑僅為3毫米,所以碳膜銅網(wǎng)的夾取是否可靠直接關(guān)系到TEM的樣品是否**。
現(xiàn)今,半導(dǎo)體行業(yè)中大部分采用聚焦離子束制備樣品,然后在專用的光學(xué)顯微鏡下,采用帶靜電的玻璃針,將樣品取出并放在碳膜銅網(wǎng)上。碳膜銅網(wǎng)很薄,且直徑僅為3毫米,所以碳膜銅網(wǎng)的夾取是否可靠直接關(guān)系到TEM的樣品是否**。現(xiàn)今市場上用于夾取碳膜銅網(wǎng)的鑷子一般具有細(xì)而尖的末端,鑷子的兩個末端分別與碳膜銅網(wǎng)正反兩個表面壓緊。
Dumont銅網(wǎng)鑷子
主要存在以下幾個問題
1.鑷子夾取樣品時(shí)很容易將碳膜戳破,導(dǎo)致TEM樣品的遺失,或者是碳膜表面的不平整導(dǎo)致TEM樣品無法觀測;
2.碳膜銅網(wǎng)尺寸很小,鑷子夾取時(shí)力度很難控制,易導(dǎo)致其掉落;
3.鑷子的**很細(xì)長,很容易在操作的過程中戳到人,對人存在一個潛在的威脅。
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